三フッ化窒素

[ サンフッカチッソ ]

常温常圧では無色、無臭の気体。有害で、助燃性がある。

二酸化炭素、メタン、クロロフルオロカーボン（CFC）などとともに温室効果ガスの一つである。温室効果の強さは二酸化炭素を1とすると、三フッ化窒素では約17,200倍である。

アンモニアとフッ素ガスの反応等により合成され、半導体の製造プロセスで使用される。2021年度の日本の三フッ化窒素排出量は約40万トン（CO2換算）であり、2013年度と比べ120万トン減少した。

地球温暖化対策計画では2030年度の排出量目標を50万トン（2013年度比70％減）としているが、2021年度の排出量は前年度に比べ約13％増加しており、引き続き注意が必要である。（2023年8月作成）